?產(chǎn)品介紹

探針臺(tái)又稱(chēng)探針測(cè)試臺(tái)，主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，探針臺(tái)可吸附多種規(guī)格芯片，并提供多個(gè)可調(diào)測(cè)試針以及探針座，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。適用于對(duì)材料、芯片等進(jìn)行科研實(shí)驗(yàn)分析，抽查測(cè)試等用途。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

模塊化設(shè)計(jì)，可以搭建不同構(gòu)件完成不同測(cè)試

探針臺(tái)整體位移分辨率3μm，樣品XYZR四維調(diào)節(jié)    

兼容多種光學(xué)顯微鏡，可以引入光路，完成光電mapping測(cè)試

兼容高倍率電子顯微鏡/體式顯微鏡，可360°旋轉(zhuǎn)和微調(diào)升降

漏電流精度：10pA/100fA（屏蔽箱內(nèi)）

探針采用進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌，線性移動(dòng)，無(wú)回程差設(shè)計(jì)

1微米以上電極/PAD使用

加寬探針架，可以放置6個(gè)DC探針座/4個(gè)RF探針座

全系列搭配顯微鏡XY精密移動(dòng)功能，可以選配多種位移行程以及驅(qū)動(dòng)形式

模塊介紹及參數(shù)

通用參數(shù)

4英寸

110×110mm

3μm

270倍高清（體式顯微鏡）

100fA（KEITHLET2636B實(shí)測(cè)）

3μm（可升級(jí)1μm/0.5μm）

25×25mm

BNC/三同軸接口

可以引出背電極

標(biāo)配3個(gè)

產(chǎn)品示意圖

應(yīng)用領(lǐng)域：

半導(dǎo)體材料光電檢測(cè)、功率器件測(cè)試、MEMS測(cè)試、PCB測(cè)試、液晶面板測(cè)試、測(cè)量表面電阻率測(cè)試、精密儀器生產(chǎn)檢測(cè)、航空航天實(shí)驗(yàn)等

實(shí)驗(yàn)附件及常規(guī)測(cè)試步驟：

光學(xué)隔振平臺(tái)(臺(tái)面>600mm*600mm)、一臺(tái)計(jì)算機(jī)(標(biāo)準(zhǔn)VGA接口和USB接口)、吉時(shí)利2400數(shù)字源表（含軟件）等。

測(cè)試時(shí)連接探針臺(tái)和數(shù)字源表，探針接被測(cè)物體，通過(guò)顯微鏡觀察確定兩根探針是否緊貼被測(cè)物表面，待連接導(dǎo)通后打開(kāi)源表軟件，選好參數(shù)即可出該觸點(diǎn)的I-V性能曲線。

譜量光電可根據(jù)客戶(hù)實(shí)際應(yīng)用需求，定制配套探針臺(tái)系統(tǒng)，以達(dá)更好的測(cè)試效果及更高的性?xún)r(jià)比，具體信息可聯(lián)系詳詢(xún)。